光氧凈化器催化設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)

光氧凈化器是指在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，繼而發生化學反應生成新的物質或變成引發熱反應的中間化學產物。光催化劑是指在光的照射下，自身不起變化，卻可以化學反應的物質。它利用光能轉化成化學反應所需的能量，產生催化作用，使周圍的氧氣及水分子激發成具氧化力的自由基或負離子。

光氧凈化器采用低VOC或無VOC的環境友好型涂料(高固體分涂料、水性涂料、粉末涂料等)替代溶劑型涂料，這是解決VOC對大氣污染的治本措施。環境友好型涂料中高固體分涂料在原有涂裝工藝及設備上不需做大的改動就可采用，降VOC效果也顯著，如汽車涂料施工私度下的中涂、面漆固體分提高10%~15%，可達到削減VOC30%~40%的效果。可是在涂料方面不是簡單地減少溶劑的用量，而要保持施工性能(如施工私度)基本不變，需重新設計或調整配方和研制，采用新型樹脂和吸油量小的顏料。采用水性涂料和粉末涂料替代溶劑型涂料，涂裝工藝和設備要作大的改動，一般宜在新建涂裝線時采用。

光氧凈化器的技術特點及使用工作基本機理：眾所周知臭氧對物具有強的氧化作用，對各大工業廢氣及其它刺激性異味果。各大工業廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用UV紫外線光束及臭氧對各大工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。利用-C光束工業廢氣中的分子鍵，再通過臭氧進行氧化反應，達到凈化的目的．根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率。